超高纯四氯化碳的制备方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201710492709.1 （22）申请日 2017.06.26

（71）申请人 江苏南大光电材料股份有限公司

地址 215021 江苏省苏州市工业园区翠薇街9号

（10）申请公布号 CN107353178A

（43）申请公布日 2017.11.17

（72）发明人 徐耀中;万欣;刘宇;董礼;许从应;林俊元;潘兴华;常华 （74）专利代理机构 江苏圣典律师事务所

代理人 王玉国

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

超高纯四氯化碳的制备方法

（57）摘要

本发明公开了超高纯四氯化碳的制备方

法，首先对原料除水处理，再通过精馏操作，去除绝大部分的有机杂质和无机杂质；再通过采用分子筛和活性炭吸附，将极其微量的有机杂质吸附；再经过滤，分离掉分子筛和活性炭，得到不含有机杂质的滤液；最后经蒸馏，去除无机杂质，最终得到高纯的四氯化碳。经GC检测，该制备方法可以除去四氯化碳中的有机杂质，并且通过ICP‑OES的全元素检测，所有的无机杂质含量

＜1ppm，该制备方法获得的四氯化碳纯度高达99.9999％，满足半导体行业的原料使用要求；该制备方法成本较低，操作简单，所需人工少，适合工业化规模生产。

法律状态

法律状态公告日

2017-11-17 2017-11-17 2017-11-17 2017-12-12 2017-12-12 2020-08-11

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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