电感耦合等离子体处理装置[发明专利]

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专利名称：电感耦合等离子体处理装置专利类型：发明专利发明人：崔智淑,李昌根申请号：CN201310346837.7申请日：20130809公开号：CN103917037A公开日：20140709

摘要：本发明涉及的电感耦合等离子体处理装置，包括：腔室，在内部形成有工艺空间；源线圈，设在电介质窗外部的上侧，所述电介质窗设置在所述工艺空间的上部；接地板，设在所述源线圈和所述盖部之间，并形成有设置孔，经接地处理；可变电容器控制装置，以贯穿所述设置孔的方式安装，并与所述源线圈连接，用于控制阻抗，通过所述接地板形成接地；本发明涉及的电感耦合等离子体处理装置，通过电机精密地控制连接于各源线圈而用于调节阻抗的可变电容器的动作，以便对多个源线圈有效地进行阻抗控制，此外，具有能够对多个可变电容器进行精确地自动控制的效果。

申请人：丽佳达普株式会社

地址：韩国京畿道

国籍：KR

代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司

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