专利名称：用于半导体射频处理装置的温度测量方法专利类型：发明专利发明人：荒见淳一,周仁申请号：CN201811439218.1申请日：20181129公开号：CN111238669A公开日：20200605
摘要：用于半导体射频处理装置的温度测量方法，包含：由电极产生一射频讯号序列，该射频讯号序列包含复数个不连续射频讯号，其中，任一射频讯号与其下一个射频讯号相隔一时间区间；及由温度传感器，于该时间区间期间，产生一温度感测讯号。
申请人：沈阳拓荆科技有限公司
地址：110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
国籍：CN
代理机构：沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)
代理人：陈福昌
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