光伏电池片ald制备氧化铝化学原理

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气相前驱体、氧化剂。
1、气相前驱体：在ALD制备过程中，需要选取合适的气相前驱体，一般选择有机铝化合物如三甲基铝（TMA）或三乙基铝（TEA）作为气相前驱体。
2、氧化剂：氧化剂一般选取水蒸气、氧气或臭氧等。

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